High k Gate Dielectrics
Michel Houssa
Dez 2003 · CRC Press
E-Book
614
Seiten
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The drive toward smaller and smaller electronic componentry has huge implications for the materials currently being used. As quantum mechanical effects begin to dominate, conventional materials will be unable to function at scales much smaller than those in current use. For this reason, new materials with higher electrical permittivity will be requ
Autoren-Profil
Michel Houssa Laboratoire Materiaux et Microelectronique de Provence, Universite de Provence, France Silicon Processing and Device Technology Division, IMEC, Belgium
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