Single Chamber Processing

Y.I. Nissim · A. Katz

१९९३ फेब्रुअरी · European Materials Research Society Symposia Proceedings पुस्तक 37 · Elsevier

इ-पुस्तक

173

पृष्ठहरू

योग्य

रेटिङ र रिभ्यूहरूको पुष्टि गरिएको हुँदैन थप जान्नुहोस्

यो इ-पुस्तकका बारेमा

Single chamber processing has attracted the attention of a number of researchers as well as industries as an alternative processing "philosophy" to complement or even replace the stringent environment of micro- and optoelectronics device fabrication. Up till now single chamber processing has been an elusive manufacturing objective throughout the history of integrated circuit technology. With the emergence of integrated processing tools in recent years, significant segments for continuous fabrication processes have been successfully realised and their potential has already innovated the industry.The 14 papers in this volume cover topics such as: The background of this approach and up-dated status; Design and concepts of relevant cluster tools equipment; Specific process modules such as deposition chambers (CVD, RTCVD, UVCVD, ...) annealing or etching reactors; and Standardization efforts. The work will provide both a stimulus for future research in this field, as well as useful reference material on the new technology trends in microelectronic device manufacturing technology.

यो इ-पुस्तकको मूल्याङ्कन गर्नुहोस्

हामीलाई आफ्नो धारणा बताउनुहोस्।

जानकारी पढ्दै

स्मार्टफोन तथा ट्याबलेटहरू

Android र iPad/iPhone का लागि Google Play किताब एप को इन्स्टल गर्नुहोस्। यो तपाईंको खातासॅंग स्वतः सिंक हुन्छ र तपाईं अनलाइन वा अफलाइन जहाँ भए पनि अध्ययन गर्न दिन्छ।

ल्यापटप तथा कम्प्युटरहरू

तपाईं Google Play मा खरिद गरिएको अडियोबुक आफ्नो कम्प्युटरको वेब ब्राउजर प्रयोग गरेर सुन्न सक्नुहुन्छ।

eReaders र अन्य उपकरणहरू

Kobo eReaders जस्ता e-ink डिभाइसहरूमा फाइल पढ्न तपाईंले फाइल डाउनलोड गरेर उक्त फाइल आफ्नो डिभाइसमा ट्रान्स्फर गर्नु पर्ने हुन्छ। ती फाइलहरू पढ्न मिल्ने इबुक रिडरहरूमा ती फाइलहरू ट्रान्स्फर गर्नेसम्बन्धी विस्तृत निर्देशनहरू प्राप्त गर्न मद्दत केन्द्र मा जानुहोस्।

गैरकानुनी सामग्रीका बारेमा रिपोर्ट गर्नुहोस्